整個水處理系統分為預處理系統+反滲透為主的脫鹽系統+精處理系統+(加溫后)+后續的精處理工藝，最后得到電子超純水。整個水處理系統有加熱功能，根據不同的用水溫度需要調整進水溫度。預處理系統由絮凝劑和殺菌劑+全自動多介質過濾器+全自動活性炭過濾器+預處理產水箱+預處理輸送泵組成。主要通過添加藥劑和機械過濾器來去除掉水中泥沙、懸浮物、膠體、微生物等物質，保證產水的SDI15<
 
5，滿足反滲透的進水條件。反滲透為主的脫鹽體系主要由一級反滲透系統和二級反滲透系統組成，特別是一級反滲透系統，為最主要的脫鹽系統。由熱交換器+保安過濾器+一級高壓泵+一級反滲透系統+緩沖水罐+二級高壓泵+二級反滲透系統+產水水箱組成。由于反滲透系統允許進水含鹽量相對較廣，且脫鹽率高，故能起到主要脫鹽的功能，減輕后續工藝處理的脫鹽負荷。精處理系統主要由進水泵+一級TOCUV+膜脫氣系統+連續電除鹽系統(CEDI)組成，主要是進一步去除水中的含鹽量，為后續的精處理系統提供穩定的水質保障。后續精處理根據分布不同分兩股水，由水罐+泵+二級TOCUV+超純水拋光混床+換熱器+0.1
 μm過濾器組成，之后不同溫度的產水作為超純水使用。

一級反滲透系統單套設計為一級兩段：(14∶6)×6，單套120支膜元件，系統設計產水103mm3/h，設計回收率75%，溫度為25℃，共5套，膜元件共600支。以反滲透膜系統為主介紹說明該水系統的運行情況。